場發(fā)射掃描電子顯微鏡的組成，有以下幾部分

來源：昆山瑞塞奇精密儀器有限公司 2022年05月18日 14:19

　　場發(fā)射掃描電子顯微鏡利用電子成像，類似于光學顯微鏡使用可見光成像。由于電子的波長遠小于光的波長，所以電子顯微鏡的分辨率要高于光學顯微鏡的分辨率。該設備已成為功能強、用途廣的材料表征工具，已廣泛應用于材料，冶金，礦物，生物學等領域。

　　無論是在高真空還是在可變壓力模式下，更高的表面細節(jié)信息靈敏度讓您在對任意樣品進行成像和分析時都具備更佳的靈活性，為您在材料科學研究、生命科學研究、工業(yè)實驗室或是顯微成像平臺中獲取各種類型樣品在微觀世界中清晰、真實的圖像，提供靈活、可靠的場發(fā)射掃描電子顯微鏡技術和方案。

　　場發(fā)射掃描電子顯微鏡的組成，有以下幾部分：

　　一、電子光學系統(tǒng)

　　組成：電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。

　　作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。

　　二、信號收集和顯示系統(tǒng)

　　信號收集：二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測器（波譜儀和能譜儀）

　　顯示系統(tǒng)：顯示屏有兩個，一個用于觀察，一個用于記錄照相。

　　三、真空系統(tǒng)

　　組成：機械泵、擴散泵

　　作用：保證電子光學系統(tǒng)正常工作，提供高真空度，防止樣品污染，保持燈絲壽命，防止極間放電。

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