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API激光干涉儀技術參數

來源:無錫駿展儀器有限責任公司   2022年05月15日 13:43  

API激光干涉儀

技術參數

API激光干涉儀5D/6D標準型:

1. 線性:0.5ppm .

2. 測量范圍:40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力:0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. 最大范圍:800角秒

6. 滾動角精度:1.0角秒

7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度最大范圍:500um

9. 垂直度精度:1角秒

10. 溫度精度:0.2攝氏度

11.濕度精度:5%

12.壓力精度:1mmHg

API激光干涉儀主要特點

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動等參數,并評估機床動態特性。

5. 全套系統重量僅15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調整步驟,減少了調整時間

API激光干涉儀


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