真空擴散泵是達到高真空環境的常規產品，真空擴散泵的工作原理是這樣的：在前級真空泵所造成的低真空(4×10^-1Pa)條件下，加熱泵內硅油，使受熱沸騰蒸發，生成蒸氣，以*速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統達到高真空的要求，極限壓力可到5×10^-4Pa。GTK150高真空擴散泵系統是我司自主研發的，將相互匹配的前級真空泵、擴散泵、復合真空計有效集成在一起，具有體積小、重量輕、節能高效的特點。

圖1 GTK150高真空擴散泵機組

如何進一步提高真空擴散泵的性能和質量，主要有以下的一些方面考慮：

（1）目前國內生產擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產，而且對泵的全面性能也沒有考核指標。行業內為了提高擴散泵的性能和質量，應當定期進行檢查、組織生產廠家加大研發、多做改進工作，使用戶配套方便。

（2）在泵結構方面的改進：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10^-1Pa時的抽氣量，并給出幾種常用的被抽氣體的抽氣量。

（3）增加附件設備：如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護，可自動切斷和復位），出口壓力的監控設備等等。

（4）規定油量的最大值和最小值和耗油量（如0.5-0.7 g/h等）；要觀察油位，以方便用戶及時注油；從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。

（5）給出合適的前級泵的容量。

（6）為了節能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。

（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，最好給出對一些氣體的壓縮比，方便用戶選用。

（8）接入PC數字化控制，保證運行正常，并提供故障自動診斷功能。

（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。