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日立掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。廣泛用于科研、半導體行業、高等院校、電路板、材料冶金等行業。
日立掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統，電子束系統以及成像系統。
1、真空系統----主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。真空泵用來在真空柱內產生真空。
2、電子束系統----電子束系統由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成像。電子槍用于產生電子，主要有利用場發射效應產生電子和利用熱發射效應產生電子兩種。
3、成像系統----電子經過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產生次級電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如次級電子探測器、X射線能譜分析儀等來區分這些信號以獲得所需要的信息。
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