Entegris FV-50DI擴散器WG3D50DR2優勢簡介

功能和優點

燒結鎳技術

在一個緊湊的擴散器單元中

提供的性能

在所有應用中

去除大于

距離進氣0.0015µm

最小化晶圓上的缺陷

易于安裝/改裝到

現有工具

最大限度地減少停機時間（包括

加載鎖室，冷卻

錢伯斯，轉移錢伯斯

（和工藝室）

制造、測試和測試

包裝在潔凈室

確保產品的清潔度

安裝時間

快速排氣，溫和流動

大氣

減少循環時間，增加

吞吐量和OEE

額定循環次數為100000次

換衣服之前

穩健高效

尚伯加德™

快速排氣擴散器

減少空氣中的顆粒和排氣時間

負載鎖定和傳輸室

尚伯加德™ 快速排氣擴散器是可靠排氣的選擇

通過最小化負載鎖定通風循環來提高系統吞吐量

時間這些擴散器向大氣快速排氣

無需干擾或向腔室中的晶片添加顆粒。

它們結合了擴散器的流動特性和高流動性

高效過濾器可提高效率和吞吐量

IOVENZANA 速優源品質PL005021

 速優源品質

Italvibras 速優源品質MVSI3/800-S020.65KW 380V 3000HZ 0.09mm

TOSRAKOVNIK 速優源品質TR1-04T-1 

EMG Automation 速優源品質EB800-60 II NR.199308

PHOENIX CONTACT 速優源品質TYP DEK1.5 DEK-REL-24/1/1 Art.Nr.:2940171

JAQUET 速優源品質1810.00S1TV

 速優源品質

ODE 速優源品質BDV08230AY

JETTER 速優源品質JL3-0250-25-3RVBS-A

 速優源品質

SCHRACK 速優源品質ZR 058290

 速優源品質

 速優源品質

voss 速優源品質G1/8 17 84 22 20 00 

Gneuss 速優源品質MT102B50Z004800 DAI-2E2-12A-B50Z-S0-F5-R-W-6P

 速優源品質

PCH 速優源品質PCH 1270/CHF8004

ENGLER 速優源品質ANM-25.305.2,5

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