手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
1200℃開啟式管式爐具有基礎溫度低、沉積速度快、成膜質量好、針孔少、不易開裂等優點；在此過程中，由于等離子體中的高速電子撞擊中性反應氣體分子，中性反應氣體分子會變成碎片或處于活化狀態，容易發生反應；在射頻的幫助下，含有薄膜原子的氣體在局部形成等離子體，等離子體具有很強的化學活性，易于反應在基板上沉積所需的薄膜；高真空系統由兩級旋片真空泵和分子泵組成，真空度可達0.001pa；數字質量流量控制系統由多通道質量流量計和流量顯示儀表組成，實現氣體流量的精確測量和控制；每條燃氣管道均配備高壓止回閥，確保系統的安全性、連續性和均勻性。那我們在具體的使用過程中還要注意哪些細節呢？
1、爐管內氣壓不得高于0.02MPa。由于氣瓶內部氣壓較高，在將氣體引入爐管時，必須在氣瓶上安裝減壓閥。
2、爐體溫度高于1000℃時，爐管不能處于真空狀態，爐管內氣壓必須與大氣壓相等并保持在大氣壓。
3、進入爐管的氣體流量應小于200sccm，以避免冷大氣流對加熱的石英管的影響。石英管的長期使用溫度應小于1100℃。
4、樣品加熱實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。如果需要關閉空氣閥來加熱樣品，請隨時注意壓力表的指示。如果氣壓示值大于0.02MPa，必須立即打開放空閥，以防發生意外（如爐管破裂、法蘭飛邊等）。
5、1200℃開啟式管式爐使用或長期不使用后，應在120℃左右烘烤1小時，在300℃左右烘烤2小時后使用，以免爐裂。不要超過爐襯的額定溫度，以免損壞爐襯。禁止將各種液體和溶解的金屬直接倒入爐內，以保持爐內清潔。
6、開式管式爐使用時，由于爐膛較冷，需要吸收大量熱量，低溫段的升溫速度不易過快，且各溫度的升溫速度不同截面不易過大。在設定升溫速率時，要充分考慮燒結材料的物理化學性能，避免噴濺污染爐管。
7、1200℃開啟式管式爐使用一段時間后，如果真空度下降，更換不銹鋼法蘭之間的耐溫硅橡膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭或更換和維修真空系統，以提高整體真空度系統的程度。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心