歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您？在線咨詢

什么是“磁控濺射靶材”？

來源：北京格微儀器有限公司 2022年03月07日 14:37

當(dāng)你在智能手機或平板電腦，用手指輕輕一劃，就會出現(xiàn)各種頁面，這就是屏幕上一種透明導(dǎo)電薄膜的功勞。

　　現(xiàn)在就帶你認識用于生產(chǎn)透明導(dǎo)電薄膜的磁控濺射靶材。它是眾多濺射靶材中發(fā)展迅速且應(yīng)用較廣的一種靶材，目前廣泛應(yīng)用于平板顯示、節(jié)能低輻射玻璃、LED、半導(dǎo)體元器件等行業(yè)。

　　1、磁控濺射靶材的分類

　　根據(jù)材料的成分不同，靶材可分為金屬靶材、合金靶材、無機非金屬靶材等。其中無機非金屬靶材又可分為氧化物、硅化物、氮化物和氟化物等不同種類靶材。

　　根據(jù)幾何形狀的不同，靶材可分為長（正）方體形靶材、圓柱體靶材和不規(guī)則形狀靶材；此外，靶材還可以分為實心和空心兩種類型靶材。

　　目前靶材常用的分類方法是根據(jù)靶材應(yīng)用領(lǐng)域進行劃分，主要包括半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材、記錄介質(zhì)應(yīng)用靶材、顯示薄膜應(yīng)用靶材、光學(xué)靶材、超導(dǎo)靶材等。

　　其中半導(dǎo)體領(lǐng)域用靶材、記錄介質(zhì)用靶材和顯示靶材是市場需求最大的三類靶材。

　　2、磁控濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域

　　磁控濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、信息儲存、液晶存儲、液晶顯示器、電子控制器件等，亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域，還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、化學(xué)電鍍、金屬泡沫材料、高檔裝飾用品等行業(yè)。

　　2.1信息存儲產(chǎn)業(yè)

　　在信息存儲產(chǎn)業(yè)中，使用濺射靶材制備的相關(guān)薄膜產(chǎn)品有硬盤、磁頭、光盤（CD-R，CD，DVD）、磁光相變光盤（MO，C-RW,DVD-KAM）。

　　2.2集成電路產(chǎn)業(yè)

　　集成電路用靶材在全球靶材市場中占較大份額。其濺射產(chǎn)品主要包括電極互相連線膜、阻擋層薄膜、接觸薄膜、光盤掩膜、電容器電極膜、電阻薄膜等。

　　2.3平面顯示器產(chǎn)業(yè)

　　平面顯示器包括：液晶顯示器（LCD）、等離子體顯示器（PDP）、場致發(fā)光顯示器（E-L）、場發(fā)射顯示器（PED）。目前，在平面顯示器市場中以液晶顯示器LCD市場最大,份額高達80%。

　　2.4光學(xué)薄膜行業(yè)

　　玻璃鍍膜采用的靶材主要有：In2O3、SnO2、Co-Cr、Cu、Cr、Ni、Sn等。汽車后鏡用靶材主要有：Cr、Al、SnO2、TiO2等。

　　3、磁控濺射靶材的制備方法

　　磁控濺射靶材的制備技術(shù)方法按生產(chǎn)工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類，在靶材的制備過程中，除嚴格控制材料的純度、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向之外，對熱處理工藝條件、后續(xù)成型加工過程亦需要加以嚴格的控制，以保證靶材的質(zhì)量。

　　3.1熔融鑄造法

　　與粉末冶金法相比，熔融鑄造法生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品雜質(zhì)含量低，致密度高。

　　3.2粉末冶金法

　　通常，熔融鑄造法無法實現(xiàn)難熔金屬濺射靶材的制備，對于熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上的金屬，采用普通的熔融鑄造法，一般也難以獲得成分均勻的合金靶材；

　　對于無機非金屬靶材、復(fù)合靶材，熔融鑄造法更是無能為力，而粉末冶金法是解決制備上述靶材技術(shù)難題的最佳途徑。同時，粉末冶金工藝還具有容易獲得均勻細晶結(jié)構(gòu)、節(jié)約原材料、生產(chǎn)效率高等優(yōu)點。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

成人做爰免费视频免费看_成人a级高清视频在线观看,成人a大片在线观看,成人a大片高清在线观看,成人av在线播放,一a一级片,一级黄中国色片,一级黄色蝶片,一级黄色片生活片