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什么是“磁控濺射靶材”?

來源:北京格微儀器有限公司   2022年03月07日 14:37  
       當(dāng)你在智能手機或平板電腦,用手指輕輕一劃,就會出現(xiàn)各種頁面,這就是屏幕上一種透明導(dǎo)電薄膜的功勞。
  現(xiàn)在就帶你認識用于生產(chǎn)透明導(dǎo)電薄膜的磁控濺射靶材。它是眾多濺射靶材中發(fā)展迅速且應(yīng)用較廣的一種靶材,目前廣泛應(yīng)用于平板顯示、節(jié)能低輻射玻璃、LED、半導(dǎo)體元器件等行業(yè)。
  1、磁控濺射靶材的分類
  根據(jù)材料的成分不同,靶材可分為金屬靶材、合金靶材、無機非金屬靶材等。其中無機非金屬靶材又可分為氧化物、硅化物、氮化物和氟化物等不同種類靶材。
  根據(jù)幾何形狀的不同,靶材可分為長(正)方體形靶材、圓柱體靶材和不規(guī)則形狀靶材;此外,靶材還可以分為實心和空心兩種類型靶材。
  目前靶材常用的分類方法是根據(jù)靶材應(yīng)用領(lǐng)域進行劃分,主要包括半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材、記錄介質(zhì)應(yīng)用靶材、顯示薄膜應(yīng)用靶材、光學(xué)靶材、超導(dǎo)靶材等。
  其中半導(dǎo)體領(lǐng)域用靶材、記錄介質(zhì)用靶材和顯示靶材是市場需求最大的三類靶材。
  2、磁控濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域
  磁控濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息儲存、液晶存儲、液晶顯示器、電子控制器件等,亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域,還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、化學(xué)電鍍、金屬泡沫材料、高檔裝飾用品等行業(yè)。
  2.1信息存儲產(chǎn)業(yè)
  在信息存儲產(chǎn)業(yè)中,使用濺射靶材制備的相關(guān)薄膜產(chǎn)品有硬盤、磁頭、光盤(CD-R,CD,DVD)、磁光相變光盤(MO,C-RW,DVD-KAM)。
  2.2集成電路產(chǎn)業(yè)
  集成電路用靶材在全球靶材市場中占較大份額。其濺射產(chǎn)品主要包括電極互相連線膜、阻擋層薄膜、接觸薄膜、光盤掩膜、電容器電極膜、電阻薄膜等。
  2.3平面顯示器產(chǎn)業(yè)
  平面顯示器包括:液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示器(PDP)、場致發(fā)光顯示器(E-L)、場發(fā)射顯示器(PED)。目前,在平面顯示器市場中以液晶顯示器LCD市場最大,份額高達80%。
  2.4光學(xué)薄膜行業(yè)
  玻璃鍍膜采用的靶材主要有:In2O3、SnO2、Co-Cr、Cu、Cr、Ni、Sn等。汽車后鏡用靶材主要有:Cr、Al、SnO2、TiO2等。
  3、磁控濺射靶材的制備方法
  磁控濺射靶材的制備技術(shù)方法按生產(chǎn)工藝可分為熔融鑄造法和粉末冶金法兩大類,在靶材的制備過程中,除嚴格控制材料的純度、致密度、晶粒度以及結(jié)晶取向之外,對熱處理工藝條件、后續(xù)成型加工過程亦需要加以嚴格的控制,以保證靶材的質(zhì)量。
  3.1熔融鑄造法
  與粉末冶金法相比,熔融鑄造法生產(chǎn)的靶材產(chǎn)品雜質(zhì)含量低,致密度高。
  3.2粉末冶金法
  通常,熔融鑄造法無法實現(xiàn)難熔金屬濺射靶材的制備,對于熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上的金屬,采用普通的熔融鑄造法,一般也難以獲得成分均勻的合金靶材;
  對于無機非金屬靶材、復(fù)合靶材,熔融鑄造法更是無能為力,而粉末冶金法是解決制備上述靶材技術(shù)難題的最佳途徑。同時,粉末冶金工藝還具有容易獲得均勻細晶結(jié)構(gòu)、節(jié)約原材料、生產(chǎn)效率高等優(yōu)點。

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