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如今，紫外臭氧清洗機技術的應用范圍十分廣泛，在現代信息技術行業中使用光清洗技術比較普遍，隨著我國工業現代化的發展，光清洗和光改質技術還將逐步應用于金屬、塑料、橡膠等工業生產領域。
紫外臭氧處理的作用為：
1、通過紫外光和臭氧將襯底表面的油脂和有機物氧化祛除，以達到清潔的效果。同時改變了襯底表面的親疏水性，優化墨水在襯底上的打印效果。
2、在LCD、OLED生產中，在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜前經過光清洗，可以提高基體表面潤濕性，增強基體表面的粘合力；
3、印制電路板生產中，對銅底板，印刷底板進行光清洗和改質，在導線焊接前進行光清洗，可以提高熔焊的接觸面積，大大增加連接強度。特別是高精度印制電路板，當線距達到亞微米級時，光清洗可輕易地去除在線距之間很小的微粒，可以大大提高印制電路板的質量。
紫外臭氧清洗機處理不同襯底時的效果：
1、對于表面較臟、油污較多的襯底做清洗，清洗后的結果為疏水性增加，效果較為明顯。（如普通PET）
2、對于表面做過有機涂層，親水性較好的襯底做清洗，清洗后的結果為疏水性增加，效果比較明顯（如預涂PET）
3、對于比較干凈、沒有做過有機涂層處理的襯底做清洗，清洗的效果并不明顯。（如玻璃））
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