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微石microstone無無線振動數據記錄儀晶圓震動儀晶圓振動計

來源:深圳市安川測量儀器有限公司   2022年03月01日 14:28  

microstone微石無無線振動數據記錄儀距離100m實時測量

無線通訊距離“100m”!可以實時測量、記錄測量、根據情況進行測量!

因為它是 920MHz 頻段的無線,所以您可以測量而無需擔心障礙物!

實時測量中最快 2msec (500Hz) 和測井測量中最快 0.05msec (20kHz) 的采樣是可能的!!!

小巧便攜!內置內存也安裝在W45 x D45 x H18 mm的手掌大小!

支持測量時觸發輸入!可以將正在測量的點牢固地保存為數據。

通過附件輕松安裝通過使用使用強釹磁鐵的附件,可以輕松地將其固定到機器上。(選項)

它只有手掌大小,可以安裝在任何地方!與傳統傳感器尺寸相同

應用示例

  1. 皮帶輸送機等運輸過程中的沖擊測量,運輸缺陷的識別

    • 只需將其放在皮帶輸送機上,讓它保持原樣流動,您就可以檢查產生沖擊的重要點。

  2. 通過對機器人手臂和旋轉部件等運動部件的振動測量和振動水平判斷進行出貨判斷

    • 因為它是無線的,所以可以測量移動部件。您不必考慮接線的影響。

  3. 對于從未到達的天花板和腹地

    • 由于無線通信距離可達 100 m,因此可以在過去無法測量的地方進行測量。

  4. 通過泵和電機等驅動部件的振動測量進行疲勞判斷,預防性維護

    • 通過定期測量驅動單元的振動,可以在機器損壞之前知道維護的時機。

MVP-RF6L 手掌大小

半導體晶片和玻璃面板傳送過程中的振動狀態測量

1. 1. 測量條件

  • 使用的測量儀器

  • 高速3通道無線振動記錄儀MVP-RF3-HC

  • 測量對象

  • LCD用玻璃面板

  • 尺寸

  • 約 1.5m x 1.9m x 1.8mm

  • 測量位置

  • 將記錄儀固定在玻璃基板中心附近

  • 固定方法

  • 膠布膠帶

  • 運輸方向

  • Z軸方向(面板垂直方向)

2. 2. 加速度波形(振動波形)測量數據

我們測量了從晶片移動開始到靜止的加速度數據。
高速3通道無線振動記錄儀內置3軸加速度計,可同時測量3個方向的加速度值。

<最大加速度>

<討論>

  1. 在該載體中,開始移動時和停止時的加速度(振動)較大。

  2. 運輸過程中加速度小。

  3. 施加于運動的加速度(振動)較大。

  4. 施加加速度(振動)的方向在Z軸方向(板厚方向)上最大。

  5. 最大加速度(振動)約為9.8m/sec^2(約1.0G)

3. 3. FFT分析

<FFT分析條件>

將上述“加速度波形數據”中的“開始移動”時的數據(0~1秒)切出進行分析。

<FFT分析結果>

<討論>

  1. Z軸方向(板厚方向)的50Hz附近有光譜峰。
    → 是面板的固有振動頻率嗎?

  2. 如果設備運行中存在50Hz附近的頻率成分,則極有可能會因為共振的影響而損壞面板,推測成品率會下降。


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