清潔度測定方法對過程控制、*和失效分析非常重要。檢測清潔度時一定要保持環(huán)境清潔，其清潔程度應與檢測的要求相適應。

清潔度的測定方法很多，這里簡單介紹下顆粒尺寸數(shù)量法。

這是一種零件清潔度檢測新方法。其基本原理是根據(jù)被檢測的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率。其測定方法是，將零件在一定的條件下清洗，將清洗液通過的濾膜充分過濾，污染物被收集在濾膜表面，然后將濾膜烘干，用顯微鏡（具有圖像識別和分析功能）在光照射下檢測，按顆粒尺寸和數(shù)量統(tǒng)計顆粒污染物，即可得到所測物體零件的固體顆粒污染物結果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測方法，尤其適用于檢測微小顆粒和帶色雜質顆粒。

顆粒尺寸數(shù)量法極限值：對特定規(guī)定的零件，規(guī)定一定樣品數(shù)量、檢測頻率、清洗介質、清洗參數(shù)和操作過程的情況下，將顆粒按尺寸大小統(tǒng)計，每個尺寸范圍分別規(guī)定準許的最大顆粒數(shù)量，只要有某一項超標，則測試結論為不合格。