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真空爐一般在春秋季期間泄漏故障較多，長期閑置時泄漏故障易發生。我廠采取每月一次測壓升率(在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值)，掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次。
(1)編制使用維護操作規程，建立運行記錄和修理檔案，統計運行累積工作時間，加強日常維護，掌握設備技術狀態變化趨勢，及早發現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的熱修，并根據爐子負荷和工作狀況，提前有針對性地準備修理用料，編制修理工藝。如合金元件的使用壽命長短與工作溫度、爐內介質、元件質量及操作情況等許多因素有關，其波動壽命6000～10000h。
在真空系統檢漏時，除用真空泥糊堵外，也可用醫用針管吸乙醚射劍所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路。擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。
(2)磚砌爐修好后的使用初期要經常進行檢查，檢查使用后的爐表溫度和爐子溫度是否過高、加熱體是否存在過熱燒斷、溫度不均或發白等現象。對于三相高溫電爐，以及電阻爐容量超過100kW時，每相、每一個加熱區都應安裝有電流表，發現爐溫與儀表指示不正常，及時分析處理。
(3)不能超負荷使用沒備，合金元件的最高使用溫度是指元件在干燥空氣中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或電熱元件周圍的溫度。要注意電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。
(4)要避免熱處刪產品，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與電加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，最后過熱而燒斷。
(5)測爐溫均勻性時，應注意測溫觸點的定位捆綁方式，以及離加熱元件的遠近。
爐內經常(至少每月)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛和擱磚，要防止爐內氧化皮等雜質掉在電熱元件上，發生短路，甚至燒壞擱磚。底板、坩堝、爐罐等耐熱鋼構件每使用一段時間，最好吊起敲擊，清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時清除，就會熔融與耐火磚發生反應，使爐絲熔化。
(6)爐子升溫后，不能長時間開啟爐門。當溫度高于400℃時，不得急劇冷卻。對于電熱元件在溫度高、冷熱變化大情況下，容易引起氧化掉皮。對于鉬加熱爐，EI常使用維護中注意應冷卻至200℃以下方可停送保護氣。
對爐體進行較大面積的修砌后，要烘爐。烘爐前，要用搖表檢測設備的絕緣，一般不小于2MΩ。磚砌爐烘爐分三個階段：①水分排出期O～200℃，是泥漿中的水分和砌體中潮氣的排出期，必須打開爐門，同時保溫時間較長。②砌體膨脹期是砌體開始膨脹及膨脹變形期，這時升溫不超過50℃/h。③保溫期600℃以上，每升高100～200℃，要保溫一段時間，過急易損壞砌體。
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