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二手電鏡主要用于對(duì)材料的微觀形貌、組織和成分進(jìn)行有效分析，掃描電鏡精髓功能，結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間，分辨率高。。它一種新型的電子光學(xué)儀器，被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個(gè)研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。
制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實(shí)的三維效應(yīng)等，對(duì)于導(dǎo)電材料，可直接放入樣品室進(jìn)行分析，對(duì)于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。在半導(dǎo)體應(yīng)用中，還可以安裝EBIC探測器，采集感生電流圖像，大大豐富了信號(hào)的采集，對(duì)樣品的信息的收集達(dá)到了新的高度。
二手電鏡的技術(shù)特點(diǎn)：
1.低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm；
2.日立的ExB設(shè)計(jì)，不需噴鍍，可以直接觀測不導(dǎo)電樣品；
3.配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測器；
4.Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像；
5.可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關(guān)閉減速功能；
6.標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能；
7.儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶自行完成；
基本結(jié)構(gòu)：
從結(jié)構(gòu)上看，掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測處理和顯示系統(tǒng)、圖像記錄系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)、電源供給系統(tǒng)。其中最重要的三個(gè)系統(tǒng)是電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測處理和顯示系統(tǒng)以及真空系統(tǒng)。
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