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旋轉涂膜成套設備簡介

來源:沈陽科晶自動化設備有限公司   2022年01月25日 15:18  

1. 基片清洗設備:

① 前期簡單清洗:VGT-1620QTD超聲波清洗機(用于去除基片表面污漬 )

超聲波清洗機

超聲波清洗機

VGT-1620QTD超聲波清洗機

VGT-1620TD超聲波清洗機

② 深層清洗:

PCE-6等離子清洗機(達分子級的深層清洗,用于改善基片表面的親水性和濕潤性)、PCE-6V小型等離子清洗機(不僅可用于基片表面性質的改善還可通氧氣進行光刻膠清洗)、紫外線臭氧清洗:不需要任何溶劑的干式清洗技術,對基片沒有損傷(該法不適用于高分子基片)

等離子清洗機

等離子清洗機

紫外線臭氧清洗機

PCE-6等離子清洗機

PCE-6V等離子清洗機

PCE-22-LD紫外線臭氧清洗機

2. 基片清洗效果檢測:

DSA-X光學接觸角測量儀、DSA-X Roll 全自動整體傾斜接觸角分析儀(通過對清洗前后基片表面對同一種液體的接觸角的數值的檢測,來判斷清洗效果是否達到要求)

接觸角測量儀

DSA-X光學接觸角測量儀

DSA-X Roll 全自動整體傾斜接觸角分析儀

3. 涂膜:VTC-100PA真空旋轉涂膜機(適用于4英寸及以下的晶圓表面的涂膜)、VTC-200P真空旋轉涂膜機(適用于6英寸及以下的晶圓表面的涂膜)

勻膠機

勻膠機

VTC-100PA真空旋轉涂膜機

VTC-200PV真空旋轉涂膜機

4. 膠體薄膜固化:烤膠機:HT-150型精密烤膠機、VTC-100PA-Ⅰ或VTC-100PA-Ⅱ上蓋加熱型真空旋轉涂膜機,無需移動樣片直接進行烤膠。VTC-100PA-UV紫外加熱型旋轉涂膜機用于光敏型膠體薄膜的固化。

烤膠機

勻膠機

勻膠機

HT-150型精密烤膠機

VTC-100PA-Ⅱ上蓋加熱型

真空旋轉涂膜機

VTC-100PA-UV紫外加熱型旋轉涂膜機

5. 薄膜厚度測定:SE-VE光普橢偏儀  膜厚測量范圍:0.5nm-20μmSR-C 反射膜厚儀   膜厚測量范圍:100nm-40μm

膜厚儀

橢偏儀

SR-C 反射膜厚儀

SE-VE光普橢偏儀

 

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