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微波功率放大器主要分為真空和固態兩種形式。基于真空器件的功率放大器，曾在軍事裝備的發展扮演過重要角色，而且由于其功率與效率的優勢，現在仍廣泛應用于雷達、通信、電子對抗等領域。
后隨著GaAs晶體管的問世，固態器件開始在低頻段替代真空管，尤其是隨著GaN，SiC等新材料的應用，固態器件的競爭力已大幅提高。
在微波系統中，微波功率放大器是基本和廣泛應用到的微波部件之一。微波大功率放大器常用雷達和無線電發射機的末級，其作用是把信號功率最終放大到足夠的電平，以便能通過適當的天線進行微波發射。
近來，由于科學技術的迅猛發展，微波功率放大器已經廣泛的應用在微波通信、衛星通信、雷達、電子對抗、導航、遙控、遙測、無源大功率測試等系統中，并成為不可少的器件。
微波功率放大器的性能參數指標一般有：
(1)工作頻率范圍：工作頻率范圍指放大器在滿足各項指標下的工作頻率范圍。放大器的工作頻率范圍一般會超過定義的工作頻率范圍
(2)輸出功率：放大器的輸出功率有兩種方式表示，飽和功率和1dB增益壓縮點輸出功率，飽和功率是輸出的最大功率。1dB增益壓縮點輸出功率是增益偏離線性而比線性增益低1dB的功率
(3)增益：放大器的放大能力
(4)增益平坦度：放大器的增益在工作頻帶內的波動范圍
(5)三階交調：功率的線性度，放大特性出現非線性時，多個微波信號之間將出現交叉調制諧波
(6)工作效率：直流功率轉換成微波功率時的能力
(7)工作電壓：提供給微波放大器工作的電壓。
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