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冷場發射電子顯微鏡的優點為電子束直徑小，亮度高，因此影像分辨率優。能量散布小，故能改善在低電壓操作的效果。為避免針尖被外來氣體吸附，而降低場發射電流，并使發射電流不穩定，冷場發射式電子槍必需在10-10torr的真空度下操作，雖然如此，還是需要定時短暫加熱針尖至2500K，以去除所吸附的氣體原子。它的另一缺點是發射的總電流小。
電子顯微鏡通過發射電子與樣品相互作用成像，用來“照射”樣品的可靠電子源是電鏡最重要的部分之一。電子顯微鏡對電子束的要求非常高。目前只有兩種電子源滿足要求：熱電子發射源和場發射電子源。目前商用的，熱電子發射源用的是鎢燈絲（較少見）或六硼化鑭（[公式]）晶體（較常見）；場發射電子源用的是很細的針狀鎢絲（具體分為肖特基發射源和冷場發射源）。
一、主要特點：
1、配備加速電壓減速功能，具有優秀的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達0.8nm，15kV達到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
2、E×B技術，無需噴鍍，可直接觀測不導電樣品。
3、放大倍數范圍為20-1000K倍。
4、最大兼容4英寸樣品。
5、具有EDS功能。
二、主要用途：
冷場發射電子顯微鏡主要用于工藝過程中，光刻、刻蝕等工藝監控及表面微區的成分分析。
隨著電子顯微技術的蓬勃發展，掃描電子顯微鏡因其圖像分辨率高、景深長、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優點，已在自然科學研究領域獲得廣泛應用，并對科學技術的發展有著巨大的推動作用。
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