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紫外吸收分析儀是根據不同組分氣體對不同波長紫外線的選擇性吸收特性而工作的分析儀器。測量這個吸收光譜可以區分氣體的種類；被測氣體的濃度可以通過測量吸收強度來確定。它不僅可以分析氣體成分，還可以分析溶液成分。具有靈敏度高、響應快、在線連續指示，還可組成調節系統。工業上常用的紫外氣體分析儀的檢測部分是由兩個結構相同的平行光學系統組成。
紫外吸收分析儀的兩個平行光學系統一個是測量室，另一個是參考室。兩個腔室通過光切割板在一定周期內同時或交替地打開和關閉光路。被測氣體進入測量室后，被測氣體*波長的光被吸收，從而減少了通過測量室光路進入紫外接收室的光通量。氣體濃度越高，進入紫外線接收室的光通量越少；通過參比室的光通量是一定的，進入紫外接收室的光通量也是一定的。因此，被測氣體的濃度越高，測量室與參比室之間的光通量差異就越大。光通量差以周期性振動的幅度投射到紫外線接收室。接收室被幾微米厚的金屬膜分成兩部分。腔室用高濃度的被測組分氣體密封。在吸收波長范圍內，它可以吸收所有入射的紫外線，從而將脈動的光通量轉變為溫度的周期性變化。然后，可以根據氣體方程將溫度的變化轉化為壓力的變化，再由電容式傳感器檢測，放大后指示被測氣體濃度。
紫外吸收分析儀除電容傳感器外，還可作為量子紅外傳感器，直接檢測紫外光。采用紫外干涉濾光片進行波長選擇，可調激光器為光源，構成了一種新型全固體紫外氣體分析儀。該分析儀只需一個光源、一個測量室和一個紫外線傳感器即可測量氣體濃度。此外，如果使用多個不同波長的濾片，可以同時測量多組分氣體中各種氣體的濃度。
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