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電子顯微鏡:掃描/透射電子顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)介紹

來源:湖南艾克賽普測控科技有限公司   2021年12月10日 07:22  
  一、掃描/透射電子顯微鏡之透射電子顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)
 
  1.真空系統(tǒng):電子的體積很小,因此在空氣中就好行進,就好像一個人在人群中穿梭,速度很慢。因此,要保持電子顯微鏡鏡筒內(nèi)的真空度。
 
  2.電子槍:電子槍是電子顯微鏡的照明光源,主要由燈絲陰極和陽極組成,中間有一個韋氏圓筒(控制電子束的形狀和發(fā)射強度)。燈絲經(jīng)過加熱以后可以發(fā)出大量的熱電子,熱電子在高壓電廠的作用下,朝陽極加速運動。
 
  3.電磁透鏡:電磁透鏡能夠控制電子的軌道,改變電子束的方向。它的作用類似于普通光學(xué)顯微鏡中的玻璃透鏡,只不過它改變的是光線的運動方向。
 
  4.聚光鏡主要作用是將電子匯集到樣品,控制照明電子束斑的大小。第一聚光鏡是強透鏡,將電子束的直徑縮小。第二聚光聚光鏡是弱透鏡,控制照明的亮度、照明角孔徑、照明斑大小。物鏡將電子像放大,中間鏡將物鏡形成的一級放大像進一步放大,透射到投影鏡上。最后由投影鏡透射到熒光屏上成像。
 
  5.照相系統(tǒng):投影鏡的下面的是像的觀察和記錄系統(tǒng)。
 
  二、掃描/透射電子顯微鏡之掃描電子顯微鏡的基本結(jié)構(gòu)
 
  掃描電子顯微鏡同樣包括電子槍(包括陰陽極)、聚光鏡(一級聚光鏡、二級聚光鏡)、掃描線圈、物鏡、電子檢測器(后散射電子檢測器、X射線檢測器、次級電子檢測器)。它與透射電子顯微鏡的最大的區(qū)別在于:聚光鏡和物鏡之間存在偏轉(zhuǎn)線圈,它的主要作用是使得電子束在樣品上快速掃描。樣品分子中激發(fā)出來的二次電子數(shù)量與樣品材料的性質(zhì)、表面的高低、凹凸有關(guān)。在物鏡的下方存在二次電子的檢測器,將二次的電子捕獲之后經(jīng)過信號處理形成圖像。
 
  本期關(guān)于掃描/透射電子顯微鏡的內(nèi)容介紹就到這里了,希望這篇文章能幫助你對產(chǎn)品有更多了解!

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