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賽默飛電子顯微鏡引入全新的能譜分析概念，采用*方法進行樣品成分信息的采集、處理和展示。傳統能譜會利用二次電子或背散射電子信息，卻不利用其圖像進行數據處理，因而數據獲取速度較慢，而且圖像分辨率相對粗糙。相比而言，賽默飛顯微鏡采集數據所用的是同一掃描發生器，將掃描電鏡圖像與能譜圖像對中，因而圖像更加銳利，圖像噪音更少。此外，脈沖處理采用自適應脈沖整形技術，確保各種條件下均能獲得可靠數據。元素分布圖通過定量算法形成，因此，所顯示的成分數據可靠，且結果中不會出現重疊峰誤判等。專有的陰影檢測算法幫助確保信息來自于檢測到X射線的區域。
賽默飛電子顯微鏡啟用方便、快速，它依托先進鏡筒技術，保持系統始終處于最佳狀態，可聚焦樣品采集數據，隨時提供高質量圖像。系統同時集成了創新性的交互式用戶指南，幫助用戶充分利用系統的各項高級功能。能譜集成在用戶界面中，可輕松完成成分分析，從而大程度提高工作效率。集成*的實時定量能譜面分析功能，專為快速分析而設計，操作簡單，新手用戶也可輕松操縱。
賽默飛電子顯微鏡采用全開門式設計，系統耐用性和靈活性更高，可以加載大而重(重達10 kg)的樣品，從而節省樣品制備時間。顯微鏡各方面性能表現出色，可表征各種不同類型材料，提供信息。低真空模式下壓力可達150 Pa，能夠分析廣泛類型的樣品。在分析不導電樣品方面，低真空模式不僅可以消除荷電效應，還可以增強材料襯度，并支持采用較大束流進行成分分析。
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