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東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

來源:武漢科賽思機(jī)電有限公司   2021年10月09日 11:19  

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    1.G1?G2接觸子間放入微動臺。

 

 2.先移動G1接觸子、控制部指示値為行程的一

(-210~-220μm)固定接觸子。

 

 .然后移動G2接觸子、控制部指示値μ時固定接觸子。

 

 4.微動臺朝返回方向返回100μ(100μ)確認(rèn)控制 指示値。

 

   5.微動臺至進(jìn)給原位置(零位置)、確認(rèn)控制部 指示値0μm〔注1〕。

 

 6.微動臺在進(jìn)給方向進(jìn)給100μm(100μm)確認(rèn)控制部指示値。

 

   7.微動臺回到原位置(零位置)、確認(rèn)控制部指示値0μm〔注1〕。

 

 8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超過1.5μm

 

   9.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値的差超過1.5μm時需再調(diào)整重復(fù)[1.][8.]的作業(yè)不超過時進(jìn)行接下來的檢查

 

〔注1〕 微動臺在原位置(零位置)控制部指示値不為0μm需調(diào)整接觸子重復(fù)〔4.〕~〔6.〕的作業(yè)

 

 為減少演算誤差需進(jìn)行絞合線單體感度測量(別紙)。


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