近期，國家標準化管理委員會發(fā)布了《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》，這一方面意味著石墨烯材料的產(chǎn)業(yè)化工作向前邁進了一步，另一方面也表明原子力顯微鏡開始逐步被標準化工作認可和接受。

為此，作為有著三十年原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡設(shè)計、開發(fā)、銷售經(jīng)驗的島津，按照新發(fā)布標準的流程進行了產(chǎn)品驗證。結(jié)果表明，島津的原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡產(chǎn)品*符合標準的要求。

本次分析流程*參照《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》附錄A方法一實例進行。

01測試儀器：島津SPM-9700HT

02圖像分析軟件：WSxM 5.0 Develop 8.4

03圖像處理過程

經(jīng)SPM-9700HT掃描獲得的原始圖像如下：

利用WSxM軟件Flatten功能處理后圖像如下

按標準利用軟件的Profile功能選取不同位置三條輪廓線，輪廓線方向為SPM-9700HT快速掃描方向（X軸）。

將3條輪廓線數(shù)據(jù)導(dǎo)出，利用EXCEL軟件進行處理，分別擬合3條輪廓線的上臺階擬合直線和下臺階擬合直線。

厚度計算：利用標準中的公式計算

公式圖片來源：《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》

結(jié)論

(1)、按照標準計算得知該片氧化石墨烯厚度為0.630±0.039nm，由此可推測這片氧化石墨烯為單層石墨烯。

(2)、島津的原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡產(chǎn)品*符合《GB/T40066-2021納米技術(shù)氧化石墨烯厚度測量原子力顯微鏡法》的要求。