激光三維表面輪廓儀是一種用于表面結構測量和表面形貌分析的測量計量設備。它不僅可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。

　　1、三維表面結構：粗糙度、波紋度、表面結構、缺陷分析、晶粒分析等。

　　2、二維圖像分析：距離、半徑、斜率、網格、等高線等。

　　3、表面界面測量：透明表面形貌、膜厚、透明膜下表面。

　　4、薄膜和厚膜的臺階高度測量。

　　5、劃痕形態、摩擦磨損深度、寬度和體積的定量測量。

　　6、微電子表面分析和MEMS表征。

　　激光三維表面輪廓儀的主要特點：

　　高精度縱向分辨率：0.1nm（接觸式）；2nm（光學非接觸式）對周圍環境和光源的適應性強，無機械過濾，垂直測量范圍寬，光學頭和接觸式多種選擇，縱向掃描范圍300-3900μm。圖像“拼接”技術可以在一張圖像中呈現任何大表面。適用于幾乎所有表面，垂直臺階，縱橫比，凸起，孔洞，脆性材料，軟材料，柔性材料表面，尖銳，堅硬，磨損的表面，適應性強，白色光源，人性化安全設計，長壽命白色led免維護，可用于各種環境甚至工業生產環境的實驗室。

　　激光三維表面輪廓儀的掃描范圍從10μmX10μm到500μmX500μm。樣品臺掃描采用高級光學參考平臺，可以使遠距離掃描范圍達到50mm。在掃描過程中，可以直接結合彩色光學相機對樣品進行觀察。針尖掃描采用雙光學傳感器，具有寬測量動態范圍（zui高達500）μm）和亞納米垂直分辨率（zui小0.1nm），軟件設置恒定微力接觸（0.1至100[Mg])。