高真空蒸發鍍膜儀是一種高真空蒸鍍機,特別適用于對氧敏感的金屬薄膜(如Ti、Al、Au等)的蒸鍍,也適用于各種氧化物材料的蒸鍍。本機配備四只蒸鍋,每只蒸鍋均配有擋板,如果改變部分配置,還可以實現有機材料的蒸鍍,可以滿足發光器件和有機太陽能電池的研究需求,是一種涂裝效果理想的實驗設備。
原理:基于電阻蒸發原理,利用大電流對鉬舟或鎢藍或固定支架上的鍍膜材料進行加熱,使其在高真空下蒸發并沉積在鍍膜樣品上,以獲得最佳鍍膜效果。采用大抽速、高壓縮比、自然風冷卻復合分子泵,保證電鍍時蒸發源和樣品排出的氣體能被快速抽出;正常情況下,電鍍室幾乎沒有油汽回流,非常干凈。
高真空蒸發鍍膜儀是將待鍍膜的基材或工件置于真空室中,通過加熱使鍍層材料蒸發汽化沉積在基材或工件表面,形成薄膜或涂層的工藝。通過加熱蒸發一種物質,使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發鍍膜。熱蒸發鍍膜技術是最古老的鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機主要用于碳蒸發,采用超純碳纖維繩為嚴格的高分辨率掃描電鏡、透射電鏡、EBSD和探針分析提供高質量的涂層處理。由于碳原子可以直接沉積在樣品表面而無需橫向移動,因此碳可以形成小于1nm的顆粒。
高真空蒸發鍍膜儀適用范圍:電子顯微鏡樣品制備和清潔燈條,以及科研、教學和企業實驗活動、工藝測試。采用大抽速、高壓縮比、自然風冷卻復合分子泵,保證電鍍過程中蒸發源和樣品排出的氣體能被快速抽出;正常情況下,電鍍室幾乎沒有油汽回流,非常干凈。
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