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掃描電鏡由哪三部分組成?各部分有什么作用?

來源:北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司   2021年07月09日 14:27  
掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣_上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察。

掃描電鏡主要可以分為三個(gè)部分:
a.電子光學(xué)系統(tǒng)
作用:是用來獲得很細(xì)的電子束(直徑約幾個(gè)nm),作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。
 
b.信號(hào)收集處理,圖像顯示和記錄系統(tǒng)
作用:收集(探測(cè))樣品在入射電子束作用下產(chǎn)生的各種物理信號(hào),并進(jìn)行放大;將信號(hào)檢測(cè)放大系統(tǒng)輸出的調(diào)制信號(hào)轉(zhuǎn)換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像,供觀察或記錄。
 
c.真空系統(tǒng)
作用:保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,防止樣品污染,避免燈絲壽命快速下降。
需要提供高的真空度,一般情況下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。


 

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