原子吸收光譜儀由光源、原子化系統、分光系統、檢測系統等幾部分組成。通常有単光束型和雙光束型兩類。這種儀器光路系統結構簡單，有較高的靈敏度，價格較低，便于推廣，能滿足日常分析工作的要求，但其最大的缺點是，不能消除光源被動所引起的基線漂移，對測定的精密度和準確度有意境的影響。

1選擇性強。這是因為原子吸收帶寬很窄的緣故。因此，測定比較快速簡便，并有條件實現自動化操作。在發射光譜分析中，當共存元素的輻射線或分子輻射線不能和待測元素的輻射線相分離時，會引起表觀強度的變化。

2、靈敏度高。原子吸收光譜分析法是靈敏的方法之一。火焰原子吸收法的靈敏度是ppm到ppb級，石墨爐原子吸收法絕對靈敏度可達到10-10～10-14g。常規分析中大多數元素均能達到ppm數量級。

3分析范圍廣。發射光譜分析和元素的激發能有關，故對發射譜線處在短波區域的元素難以進行測定。另外，火焰發射光度分析僅能對元素的一部分加以測定。例如，鈉只有1%左右的原子被激發，其余的原子則以非激發態存在。

4、抗干擾能力強。第三組分的存在，等離子體溫度的變動，對原子發射譜線強度影響比較嚴重。而原子吸收譜線的強度受溫度影響相對說來要小得多。和發射光譜法不同，不是測定相對于背景的信號強度，所以背景影響小。在原子吸收光譜分析中，待測元素只需從它的化合物中離解出來，而不必激發，故化學干擾也比發射光譜法少得多。

5、精密度高。火焰原子吸收法的精密度較好。在日常的一般低含量測定中，精密度為1～3%。如果儀器性能好，采用高精度測量方法，精密度為<1%。無火焰原子吸收法較火焰法的精密度低，一般可控制在15%之內。若采用自動進樣技術，則可改善測定的精密度。火焰法：RSD<1%，石墨爐3～5%。