烤膠機是針對半導體工藝生產中晶圓烘烤而設計的一款產品,烤膠機可在電子、化工等行業的工礦企業、科研、教育等單位,進行熱老化、溫度試驗及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗用。與傳統的真空干燥箱相比,利用烤膠機固化膜層的優勢有:
(1)烘烤時間減少;
(2)重復性高;
(3)對薄膜的固化效果好。
烤膠機整個面板溫度均勻,對基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上,所以不會“皮膚效應”。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層,因為最靠近基片的膜層會首先固化好,然后是膜層靠外的部分。該設備由于升溫迅速,所以產量較高。烘烤時間用秒計算,而不是像傳統烘箱用分鐘或者小時計算。
TC-V300烤膠機外觀小巧精致,采用高精度微處理器,溫度控制更加準確,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲,線烘烤時間短、重復性高和薄膜固化效果好。
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