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微光刻處理技術(shù)引入3D打印

來源:納糯三維科技(上海)有限公司Nanoscribe   2021年03月19日 08:51  
   在半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域,光刻系統(tǒng)的分辨率比目前3D打印系統(tǒng)的分辨率至少高三~四個量級。如何將光刻技術(shù)的高分辨率特點應(yīng)用于3D打印,在提高精度的同時支持微結(jié)構(gòu)的大面積打???如何降低對材料特性依賴,提升3D打印保真度和可靠性,適應(yīng)多材料使用,這就是該項目創(chuàng)新的重要意義。將微光刻技術(shù)、精密涂層工藝和大數(shù)據(jù)處理技術(shù)引入3D打印,實現(xiàn)了微納3D打印的三大創(chuàng)新。
  首先,提出了柔性薄膜送膠與涂層工藝相結(jié)合,常規(guī)膠層厚度1微米-10微米,理論上,膠厚可控制到亞微米。薄膜送膠的特點是每層打印的圖形獨立曝光,層與層間的曝光互不影響,根本上消除了傳統(tǒng)光固化3D打印累積曝光對結(jié)構(gòu)展寬的影響,實現(xiàn)了高深寬比、密集微結(jié)構(gòu)的高保真3D打印。
  第二,提出了將縮微投影光學(xué)系統(tǒng)、大數(shù)據(jù)設(shè)計處理與3D分層曝光技術(shù)相結(jié)合,常規(guī)圖形分辨率0.5微米-2微米,理論上,可做達(dá)0.2微米。采用空間光調(diào)制、大數(shù)據(jù)壓縮與掃描拼接曝光技術(shù),攻克了高分辨率圖形大面積打印的難題,從而,實現(xiàn)了3D打印的高精度與大面積的協(xié)同。
  第三,提出了多噴頭供膠模式,控制打印涂層厚度及組合,在逐層打印時,提供不同特性、不同成分的打印材料,降低了對材料特性的依賴,實現(xiàn)多全新功能材料3D打印,材料消耗和價格大幅下降。
        德國Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會展LASERWorldofPhotonics上發(fā)布了全新工業(yè)級雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)QuantumX,并榮獲創(chuàng)新獎。該系統(tǒng)是世界first基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué)。
 

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