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X射線熒光光譜儀：用于快速篩選電子電氣設備中的有害成分。
結構功能：
1、波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，一般由光源(X-射線管)、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體是安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，需要作為光源的X射線管的功率要大，一般為2～3千瓦。但X射線管的效率極低，只有1%的電功率轉化為X射線輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置(水冷或油冷)，這就使得儀器結構比較復雜，硬件成本高，因此波譜儀的價格比能譜儀要高的多。
2、普通能量色散型X-熒光光譜儀(ED-XRF)，一般由光源(X-射線管)、濾光片、樣品室和檢測系統等組成，與波長色散型X熒光光譜儀(WD-XRF)的區別在于它不用分光晶體，機構比較簡單，價位比較低，但輕元素的檢出限較高。
3、偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，不采用濾光片，而采用偏振次級靶，其它與普通能量色散X熒光光譜儀(ED-XRF)相似，結構也比較簡單，價位也遠低于波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，但在輕元素的檢出限方面接近波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)。
應用于RoHS六種有害物質，包括：鉛Pb，鎘Cd，汞Hg，六價鉻Cr6+，多溴二苯醚BDE，多溴聯苯PBB，RoHS指令涉及的產品范圍相當廣泛，幾乎涵蓋了所有電子、電器、醫療、通信、玩具、安防信息等產品，它不僅包括整機產品，而且包括生產整機所使用的零部件、原材料及包裝件，關系到整個生產鏈。
工作原理：
X-射線熒光光譜法，是用X-射線管發出的初級線束輻照樣品，激發各化學元素發出二次譜線(X-熒光)。波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)是用X射線直接照射樣品發射X熒光，分光晶體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X-射線波長和強度，從而測定各種元素的含量;而普通能量色散型熒光光譜儀(ED-XRF)是通過濾光片得到背景相對較低的X射線，照射樣品發射X熒光，X熒光借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進行色散，根據各元素特征能量的強度高低來測定各元素的量;而偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF是采用偏振次級靶，得到單色的X射線照射樣品，再X熒光借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進行色散，根據各元素特征能量的強度高低來測定各元素的量，這就大大提高了儀器的信噪比，提高了能譜儀分析輕元素的能力。
工作原理：
X-射線熒光光譜法，是用X-射線管發出的初級線束輻照樣品，激發各化學元素發出二次譜線(X-熒光)。波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)是用X射線直接照射樣品發射X熒光，分光晶體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X-射線波長和強度，從而測定各種元素的含量;而普通能量色散型熒光光譜儀(ED-XRF)是通過濾光片得到背景相對較低的X射線，照射樣品發射X熒光，X熒光借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進行色散，根據各元素特征能量的強度高低來測定各元素的量;而偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF是采用偏振次級靶，得到單色的X射線照射樣品，再X熒光借助高分辨率敏感半導體檢測器與多道分析器將未色散的X-射線按光子能量進行色散，根據各元素特征能量的強度高低來測定各元素的量，這就大大提高了儀器的信噪比，提高了能譜儀分析輕元素的能力。
結構功能：
1、波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，一般由光源(X-射線管)、樣品室、分光晶體和檢測系統等組成。為了準確測量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體是安裝在一個精密的測角儀上，還需要一龐大而精密并復雜的機械運動裝置。由于晶體的衍射，造成強度的損失，需要作為光源的X射線管的功率要大，一般為2～3千瓦。但X射線管的效率極低，只有1%的電功率轉化為X射線輻射功率，大部分電能均轉化為熱能產生高溫，所以X射線管需要專門的冷卻裝置(水冷或油冷)，這就使得儀器結構比較復雜，硬件成本高，因此波譜儀的價格比能譜儀要高的多。
2、普通能量色散型X-熒光光譜儀(ED-XRF)，一般由光源(X-射線管)、濾光片、樣品室和檢測系統等組成，與波長色散型X熒光光譜儀(WD-XRF)的區別在于它不用分光晶體，機構比較簡單，價位比較低，但輕元素的檢出限較高。
3、偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，不采用濾光片，而采用偏振次級靶，其它與普通能量色散X熒光光譜儀(ED-XRF)相似，結構也比較簡單，價位也遠低于波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，但在輕元素的檢出限方面接近波長色散型熒光光譜儀(WD-XRF)。
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