材料是人類賴以生存和發展的物質基礎，各種材料的運用很大程度上反映了人類社會的發展水平，而材料科學也日益成為人類現代科學技術體系的重要支柱之一。

材料表面分析是對固體表面或界面上只有幾個原子層厚的薄層進行組分、結構和能態等分析的材料物理試驗。也是一種利用分析手段，揭示材料及其制品的表面形貌、成分、結構或狀態的技術。為此，島津針對性地提供了全面的表征解決方案，助力材料科學研究。

材料表面分析

掃描探針顯微鏡SPM / X射線光電子能譜儀 / 電子探針顯微分析儀EPMA

原子力顯微鏡 SPM-9700HT

SPM-9700HT在基本觀察功能的基礎上融入了更強的測量功能，具備信號處理能力，可得到更高分辨率、更高質量的觀察圖像。

SPM-9700HT

應用：金屬蒸鍍膜的表面粗糙度分析

以1 Hz和5 Hz的掃描速度對金屬蒸鍍膜的表面形貌進行觀察，畫質及表面粗糙度的分析結果相同。

應用：光柵溝槽形狀檢測

以1Hz和5Hz的掃描速度對光柵的表面形貌進行觀察，經過斷面形狀分析，溝槽形狀檢測結果均相同。

可控環境艙原子力顯微鏡 WET-SPM

WET-SPM為原子力顯微鏡實驗提供各種環境，如真空、各種氣體（氮、氧等）、可控濕度、溫度、超高溫，超低溫、氣體吹掃等。實現了原位掃描，可追蹤在溫度、濕度、壓力、光照、氣氛濃度等發生變化時的樣品變化。

WET-SPM

應用：樹脂冷卻觀察

室溫下樹脂的粘彈性圖像中，可以觀察到兩相分離。冷卻至-30℃，粘彈性的差異基本消失。

應用：聚合物膜的加熱觀察

聚合物膜在不同加熱溫度下的形貌變化，在相位圖上可清晰觀察到樣品表面因加熱而產生的物理特性變化。

調頻型高分辨原子力顯微鏡 SPM-8100FM

島津高分辨率原子力顯微鏡SPM-8100FM使用調頻模式，提高了信號的靈敏度，即使在大氣環境甚至液體環境中也能獲得與真空環境中同樣超高分辨率表面觀察圖像。無論是表面光潔的晶體樣品還是柔軟的生物樣品，都實現了分子/原子級的表征。SPM-8100FM*觀察到固體和液體臨界面（固液界面）的水化、溶劑化現象的圖像，因此實現了對固液界面結構的測量分析。

SPM-8100FM

應用：液體中原子級分辨率觀察

圖為在飽和溶液中觀察NaCl表面的原子排列。以往的AFM（調幅模式）圖像湮沒在噪聲中。通過調頻模式則可以清晰地觀察到原子的排列，實現真正的原子級分辨率。

應用：大氣中Pt催化粒子的KPFM觀察

通過KPFM進行表面電勢的測定，TiO2基板上的Pt催化粒子可被清晰識別。同時可以觀察到數納米大小的Pt粒子和基板間的電荷交換。

右圖中，紅圈區域是正電勢，藍框區域是負電勢。

對于KPFM觀察，調頻模式也大幅提高了分辨率。

X射線光電子能譜儀AXIS SUPRA+

X射線光電子能譜儀（XPS）是一種被廣泛使用的表面分析技術，主要用于樣品的組成和化學狀態分析，可以準確地確定元素的化學狀態，應用于各種低維新材料、納米材料和表面科學的研究中。AXIS SUPRA+是島津/Kratos新研發出的一款X射線光電子能譜儀，具備高能量分辨、高靈敏度、高空間分辨的特點。

AXIS SUPRA+

化學狀態和含量分析

深度剖析

化學狀態成像分析

電子探針顯微分析儀 EPMA

電子探針顯微分析儀（Electron Probe Micro-Analyzer，EPMA）使用單一能量的高能電子束照射固體材料，入射電子與材料中的原子發生碰撞，將內殼層的電子激發脫離原子，在相應的殼層上留下空穴，在外殼層電子向內殼層空穴躍遷的過程中，發出具有特征波長的X射線。EPMA使用由分光晶體和檢測器組成的波譜儀檢測這些特征X射線，用于材料成分的定性、定量分析。

EPMA的波譜儀的檢測極限一般為0.005%左右，檢測深度為微米量級，其成分像的二維空間分辨亦為微米量級，定量分析的精度可以達到傳統的化學分析方法水平。

配備了多道波譜儀的EPMA是材料學研究中微區元素定性、定量分析的*，屬于科研工作*的分析儀器。

EPMA-1720

EPMA-8050G

應用：超輕元素EPMA分析－滲碳均勻性的圖象分析