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AMC在線監(jiān)測(cè)突破傳統(tǒng)，讓監(jiān)測(cè)效率更高
AMC在線監(jiān)測(cè)空氣分子污染的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程非常重要。快速監(jiān)視，警報(bào)，低濃度測(cè)量，寬測(cè)量范圍以及對(duì)多種氣體的高度敏感響應(yīng)是半導(dǎo)體行業(yè)的要求。深紫外光刻工藝特別注意氨，胺，N-甲基吡咯烷酮NMP，酸等的濃度測(cè)量。當(dāng)這些氣體與化學(xué)放大的光致抗蝕劑反應(yīng)時(shí)，它們會(huì)嚴(yán)重影響半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。傳統(tǒng)的古代方法大多使用間接測(cè)量和分析方法，包括沖擊濾池，離子色譜法，化學(xué)熒光法，這些方法分析速度太慢，操作過程太復(fù)雜，價(jià)格昂貴且測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確。
AMC在線監(jiān)測(cè)技術(shù)解決了AMC（空氣分子污染物）監(jiān)測(cè)的問題，該監(jiān)測(cè)可以快速測(cè)量NH3，HCL，HF的痕量水平，使用脈沖熒光測(cè)量SO2，并使用增強(qiáng)的GC-FID測(cè)量VOC。3100S系列空氣分子污染物監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可測(cè)量NH3，HCL，HF的痕量水平，并整合了uVOC-CAM的特性。它是用于半導(dǎo)體行業(yè)中潔凈室AMC（空氣分子污染）測(cè)量的強(qiáng)大工具。
AMC在線監(jiān)測(cè)還集成了一個(gè)多點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以按順序?qū)怏w泵送到分析儀或傳感器，并讀取測(cè)量結(jié)果。3100S內(nèi)嵌的警報(bào)，報(bào)告和分析軟件是由在半導(dǎo)體行業(yè)具有多年經(jīng)驗(yàn)的工程師共同開發(fā)的。使用以太網(wǎng)，RS485/RS232或4-20mA模擬量模塊從4?6個(gè)分析儀或傳感器輸出數(shù)據(jù)。每臺(tái)分析儀均配有用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)輸出的內(nèi)置計(jì)算機(jī)，還支持遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)控制，操作或診斷。
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