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CF4泄漏檢測基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜檢測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，可對CF4的中紅外基本光譜吸收峰進行研究。兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度，可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出，同時確保了超高的穩(wěn)定性。重新校準周期持續(xù)數(shù)月甚至數(shù)年，從而大大減低了總體持有成本。
高靈敏度的CF4泄漏檢測可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收檢測可以確保長期的高穩(wěn)定性。準確，可靠且維護成本低的潔凈室污染控制，快速的響應(yīng)時間以捕獲濃度的突然增加，獨立的操作系統(tǒng)，內(nèi)置的氣體交換泵，無消耗品或化學試劑，光路短，單點校準也可達到一定動態(tài)范圍，直接吸收測量，無漂移，高選擇性，并且不受乙醛和其他VOC的干擾。
1、響應(yīng)時間：取決于用戶定義的通道積分時間CIT和氣體沖洗設(shè)置。根據(jù)平均時間和采樣設(shè)置，它從10秒到幾分鐘不等。
2、監(jiān)測下限：小于0.1ppb。
3、動態(tài)范圍：大于5個數(shù)量級（檢測下限的100,000倍）。
4、重復性：在操作條件下，校準濃度的重復性小于1％。
5、精度：校準濃度高于5％，這受校準氣體精度的限制。
6、溫度穩(wěn)定性：CF4泄漏檢測不會由于工作溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化而引起漂??移。
7、壓力穩(wěn)定性：樣品在壓力范圍內(nèi)的壓力變化不會引起漂移。
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