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原子熒光光譜儀工作原理：
原子熒光光譜法是通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發下產生的熒光發射強度，來確定待測元素含量的方法。
待測元素的溶液與(鉀)混合，在酸性條件下生成氫化物氣體(如砷化氫、汞化砷等)從溶液中逸出，通過與氬氣、氫氣混合后進入到原子化器中(并被點燃)，氫化物高溫下分解并轉化為基態的原子蒸汽，通過該元素的空心陰極燈產生的共振線激發，基態原子躍遷到高能態(有時也會從某亞穩態開始躍)，它再重新返回到低能態，多余的能量便以光的形式釋放出來，這就是原子熒光(如果激發波長與熒光波長相同，稱為共振熒光，這是原子熒光的主要部分，其他還會產生不太強的非共振熒光)。
氣態自由原子吸收特征波長輻射后，原子的外層電子從基態或低能級躍遷到高能級經過約10-8s，又躍遷至基態或低能級，同時發射出與原激發波長相同或不同的輻射，稱為原子熒光。原子熒光分為共振熒光、直躍熒光、階躍熒光等。
發射的熒光強度和原子化器中單位體積該元素基態原子數成正比，式中：I f為熒光強度；φ為熒光量子效率，表示單位時間內發射熒光光子數與吸收激發光光子數的比值，一般小于1；Io為激發光強度；A為熒光照射在檢測器上的有效面積；L為吸收光程長度；ε為峰值摩爾吸光系數；N為單位體積內的基態原子數。
原子熒光光譜儀原子熒光發射中，由于部分能量轉變成熱能或其他形式能量，使熒光強度減少甚至消失，該現象稱為熒光猝滅。
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