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表面輪廓儀采用觸針與被測樣品直接接觸的方式來測定表面輪廓，獲得表面輪廓曲線，能夠測量臺階高度、寬度、樣品表面粗糙度及相關參數，并能進行應力測量。測量力500μN范圍內可自由設定，系統自動水平補正，適用于半導體、微機電、材料、物理等領域的研究。
表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試，產品的組合可根據不同的技術應用要求而改變。針對樣品的同一區域可進行不同模式的實驗檢測，模式切換可實現全自動化。多項技術的整合能夠使不同技術在同一檢測儀上充分發揮各自的優勢。該項整合技術不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。
表面輪廓儀產品功能：
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數十微米的級別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數據處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數分析功能；
5）具備自動對焦、自動測量、自動多區域測量、自動拼接測量等自動化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數據報表導出功能。
表面輪廓儀采用的是非接觸式測量技術，具有亞納米測量精度（所有放大倍數下），可以更快更好地測量各種樣品表面，是一款具有非常高投資回報率的產品。滿足各種應用需求，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度，適用于幾乎任何材質表面。
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