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電容薄膜真空計包含真空規管和測量電路兩個部分。其中，真空規管將真空度轉化成電容量，測量電路對電容量進行處理得到真空度的值。MEMS電容薄膜真空規管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。電容薄膜真空規管的敏感電容具有不同結構，包括單側電極結構、雙側電極結構以及靜電力平衡結構，不同結構的敏感電容其電容變化量不同。
校準電容薄膜計時,應注意以下五點:
(1)傳感器調零時,首先應用標準信號將控制線路的零點和滿度調好,將溫度補償器調到所需要的位置上,測量中不可隨意變動。
(2)傳感器調零應在其預熱4小時后進行,必要時可(10～24)小時的恒溫加熱,才能使電容規達到較佳零點,也才能測得更準確。
(3)傳感器調零的位置,應比校準范圍下限低2～3個量級。如量程是1000Torr,則校準范圍是133.3Pa～133300Pa。零點在真空系統抽到1.3Pa或0.13Pa位置左右時才能調節,其余量程以此類推。
(4)調零以后,校準過程中環境溫度不能有驟然變化的現象發生。
(5)在校準過程中,避免傳感器過大的振動。
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