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等離子體診斷是根據(jù)對(duì)等離子體物理過(guò)程的了解，采用相應(yīng)的方法和技術(shù)來(lái)測(cè)量等離子體參量的科學(xué)技術(shù)。等離子體物理現(xiàn)象要用多個(gè)參量才能描述，就像醫(yī)生對(duì)病人的病情要作多方面的診斷后方可確診一樣。因此，借用醫(yī)學(xué)中的“診斷”一詞，將等離子體參量的測(cè)量稱為等離子體診斷。
等離子體診斷是用實(shí)驗(yàn)方法測(cè)定等離子體參量的技術(shù)。診斷的方法有探針?lè)ā⑽⒉ǚā⒓す夥ā⒐庾V法、光學(xué)法和粒子束法，其中粒子束法的應(yīng)用不如前五種普遍。診斷的參量包括微觀參量（如碰撞頻率）和宏觀參量（如密度、溫度、壓力等熱力學(xué)參量，以及粘性、擴(kuò)散、熱導(dǎo)率和電導(dǎo)率等輸運(yùn)系數(shù)）。
一般表征部分電離等離子體特性的參量主要是電子密度、電子溫度和碰撞頻率。電子密度和電子溫度的范圍不同，所用的測(cè)量方法也不同。
加拿大AFP的多模式等離子體檢測(cè)器優(yōu)勢(shì)：檢測(cè)器利用創(chuàng)造出弱等離子，并使其保持在非平衡狀態(tài)下。等離子體的電能大部分轉(zhuǎn)化到自由電子上，而氣體的溫度仍然保持在接近于室溫。可以采用氬氣、氦氣作為載氣。根據(jù)需要測(cè)量的雜質(zhì)和采用的模式，也可采用其它氣體作為載氣。 載氣切換起來(lái)非常方便和快捷。
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