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一篇文章讀懂什么是背照式CMOS

來源:凌云光技術(shù)股份有限公司   2020年10月19日 16:58  

前照式CMOS更像是放高額借款的,借十給九還十三這是規(guī)矩,效率很難高的起來;背照式CMOS則像過完年回來的行李箱,想著辦法地還能多裝一點,因此特別適合低照度環(huán)境。
 
結(jié)構(gòu)性擋光的前照式CMOS
CMOS芯片是由好多層結(jié)構(gòu)反復搭建而成的。在傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)中,自上而下依次為微透鏡組(Micro-lens)、彩色濾光鏡(Color Filter)、電路層(Wiring Layers)和光電二極管(Photodiodes)。
 

 

▲一個典型的貝爾濾波CMOS結(jié)構(gòu)。光線經(jīng)過微透鏡組,被濾光鏡過濾為紅、綠、藍三種光,穿過很多層狹小的電路層后,分別被自己的光電二極管接收到,從而形成一副彩色畫面。
 
于是乎,在芯片這種狹小結(jié)構(gòu)中,像元形成了一種類似井的成像結(jié)構(gòu),叫做“阱”。這些層疊的金屬電路層,會阻擋和反射一部分入射光,等光線到達光電二極管的時候已經(jīng)被層層盤剝,只剩下70%不到。這個過程學名叫做“效率”。而且,這種反射還有可能串擾旁邊的像素,發(fā)生一種本來應該是藍光的光子卻被綠光二極管接收到了,從而在一定概率上發(fā)生顏色失真。
 
這個由結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的問題,在暗場環(huán)境或者高感光度拍攝時會尤為突出。要么整個畫面漆黑一片,顯微鏡下發(fā)生核戰(zhàn)爭你都不一定能看到。要么整個畫面雜點噪聲眾多,顆粒感強的你都想摔顯微鏡。
 
所以背照式的CMOS芯片就應運而生了。
 
前置感光的背照式CMOS
背照式CMOS英文為Back-Illuminated CMOS,縮寫為BI CMOS;或BackSide Illumination CMOS,縮寫為BSI CMOS。在背照式BSI結(jié)構(gòu)中,光電二極管和電路層的位置發(fā)生了調(diào)換,自上至下依次為微透鏡(Micro-lens)、彩色濾光鏡(Color Filter)、光電二極管(Photodiodes)和電路層(Wiring Layers)。
 
背照式CMOS的金屬排線層以及光電二極管的位置,同前照式來說剛好相反,光線可以幾乎沒有阻擋和干擾地被光電二極管捕獲,因此光線的利用率高。同時沒有了遮擋,開口更大,使CMOS擁有更高的靈敏度和信噪比,這一點在低照度環(huán)境下表現(xiàn)的尤為突出。
 

▲背照、前照兩種CMOS的結(jié)構(gòu)對比,以及顯微鏡下的結(jié)構(gòu)比對。能夠清晰明了的明白為什么背照式更適合暗場環(huán)境應用。
 
其實,背照式的概念早在1990年就被提出過,但是受制于當時的生產(chǎn)制造水平,背照式成像芯片無法實現(xiàn)量產(chǎn)。即便是現(xiàn)在,背照式成像芯片依然僅僅活躍在科研領(lǐng)域。
 

 

▲德國PCO是科學成像領(lǐng)域的老前輩了,旗下sCMOS相機edge系列加入背照式sCMOS新品pco.edge 4.2 bi。
 
pco.edge 4.2 bi使用一塊2048×2048分辨率的16bit sCMOS芯片,在背照式結(jié)構(gòu)的加持下,效率超過95%。支持液體或風扇制冷,低可制冷低過-25℃,此時暗噪聲僅有 0.2 e-/pixel/s,一舉打破背照式CMOS金屬電路層密度高所帶來的信噪比下降謎團!
 
pco.edge 4.2 bi滿分辨率下可以達到高40fps,僅使用一根USB 3.1 Gen1線纜即可同時高速傳輸數(shù)據(jù)和供電。整機小巧緊湊,僅有80×85×102.8mm,實在是實驗室用戶的選擇!
 

▲至今走出過33位諾貝爾獎獲得者的德國馬克斯·普朗克學會,在《DNA折紙瞬態(tài)結(jié)合熒光成像的單分子動力學和超分辨顯微術(shù)》中使用pco.edge 4.2 bi拍攝的超分辨率cos7細胞圖像。可以明顯看出pco.edge 4.2 bi(左)與普通黑白款前照式sCMOS(右)的成像差別。

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