一些潔凈廠房的主要技術指標

工廠類別：集成電路芯片甲廠，集成電路芯片乙廠，集成電路芯片丙廠，TFT-LCD甲廠，TFT-LCD乙廠，TFT-LCD丙廠

潔凈室建筑（核心生產區）面積（m²）：8700， 1400,  15800,  28000,  22000+14000, 33000

潔凈室建筑高度（m） ：20.0,   26.8,   22.0,   23.0,   20.3,   26.5

主要消費技術措施：設有回風高靈敏度早期火災報警系統，易燃易爆氣體報警系統，機械排煙設施，CO₂  滅火裝置等；設有機械排煙系統，回風高靈敏度早期火災報警系統，易燃、易爆氣體、化學品泄漏報警與連鎖等；設有自動噴淋系統，CO₂裝置，回風高靈敏度早期火災報警系統，易燃、易爆氣體報警系統等；設有自動噴淋系統，疏散走廊機械排煙，回風高靈敏度早期火災報警系統，特氣、危險化學品報警系統等；設有早期火災博阿基系統，機械排煙系統，易燃、易爆氣體博阿基系統、自動噴淋系統等；設有早期火災報警系統，機械排煙系統，易燃、易爆氣體報警系統，自動噴淋系統等。