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綜合熱分析儀主要是測量熱物性值中熱滲透率的一種設備，可以進行微小領域（微米等級）、納米薄膜、Sic（單晶體、多晶體）、AIN等的測量。熱分析儀檢測設備利用激光對樣品進行調制循環加熱、通過紅外線放射量的變化，將樣品內部異常部分的檢測或不均勻性的熱特性可視化。內載紅外宏觀光學系照相機，可高倍率觀察。并且，使用樣品加熱器的熱傳播檢查和簡易溫度測量都可以進行。
綜合熱分析儀的原理：
消除稱重量、樣品均勻性、升溫速率一致性、氣氛壓力與流量差異等因素影響，TG與DTA/DSC曲線對應性更佳。根據某一熱效應是否對應質量變化，有助于判別該熱效應所對應的物化過程(如區分熔融峰、結晶峰、相變峰與分解峰、氧化峰等)。在反應溫度處知道樣品的當前實際質量，有利于反應熱焓的準確計算。
產品不僅波長連續自動可調，而且精度大幅提高，從傳統元素分析儀的波長誤差一般20nm(±5nm)提高到現在的3nm，因而可以使產品在擴大應用范圍的同時，提高分析檢測的準確度。可檢測普碳鋼、低合金鋼、高合金鋼、生鑄鐵、球鐵、合金鑄鐵等多種材料中的Si、Mn、P、Cr、Ni、Mo、Cu、Ti等多種元素。每個元素可儲存99條工作曲線，品牌電腦微機控制,全中文菜單式操作。可以滿足冶金、機械、化工等行業在爐前、成品、來料化驗等方面對材料多元素分析的需要。
綜合熱分析儀檢測設備特點
1、熱分析儀熱物理性顯微鏡是測量熱物性值中熱滲透率的一種設備；
2、熱分析儀檢測設備可以通過點、線、面測量樣品的熱物性；
3、該設備可以測量以往難以測量的微米等級的熱物性值的分布；
4、非接觸方式且高分辨率的熱物性測量設備；
5、檢測光spot直徑3μm、高分辨率來測量微小領域的熱物性（點、線、面 測量）；
6、因為可改變深度范圍來測量，所以從薄膜、多層膜到散裝材料都可測量；
7、 基板上的樣品也可測量；
8、 熱分析儀激光非接觸式測量；
9、可檢測薄膜下的裂紋、孔隙、脫落等問題。
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