58212-C LED 芯片電測系統(tǒng) 

主要特色：

• 高速及高精度
• 支援水平型，垂直型和倒裝型芯片
• 完整LED電性測試範圍（200V/2A）
• 可支援到8英寸晶圓
• Chroma大面積光偵測器
• 強大的芯片位置掃描算法
• 外部光屏蔽設計
• 完整的分析工具和統(tǒng)計報告

測試項目

• 電源特性量測 :
  - Forward Voltage Measurement (Vf )
  - Reverse Breakdown Voltage Measurement(Vrb)
  - Reverse Leakage Current (Ir)
  - SCR Detection
• 光特性量測 :
  - Optical Power (mw, lm, mcd)
  - Dominant Wavelength (Wd)
  - Peak Wavelength (Wp)
  - Full Width at Half Maximum (FWHM)
  - CIExy - CCT - CRI

硬體設備

• 自動化 LED wafer/chip 點測設備
• 電性測試模組
• 光學測試模組
• 選配ESD 測試模組

致茂58212-C是一臺自動化的LED外延片/芯片探 針測試設備，提供快速、準確的LED測量測且整 體量測時間＜125ms *1。

系統(tǒng)的設計採用了靈活的設計為不同類型的LED 結構包括橫向型，垂直型和倒裝芯片類型。用戶 可以選擇合適的結構類型LED測量。完整掃描程 序可提供獨立的晶圓圖以保證測試的精度。專利 的探針頭可防止待測物的刮傷並確保每一個LED 接觸。

透過致茂獨特的光學設計與元件可取得精確且穩(wěn) 定快速之光學數(shù)據(jù)如主波長、峰波長、色溫等， 該系統(tǒng)具備完整之電性量測單元，無論順向電 壓、漏電流、逆向崩潰電壓等 LED 電性特性， 均可於一次滿足使用者的測試需求。

58212-C包含彈性調(diào)整的軟體操作界面及先進的 邏輯演算法使得生產(chǎn)效益大幅提升 ；完善的統(tǒng)計 報表及分析工具可以讓使用者用輕鬆掌握生產(chǎn)狀 況。

Note *1: 測試條件：在間距300um、5道電性測 項、1道光學測項條件下取樣。由於LED的特性的 差異，測量結果可能會有所不同。