壓力傳感器是壓力變送器中將壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的關(guān)鍵器件。擴(kuò)散硅式壓力變送器的敏感元件是擴(kuò)散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測量介質(zhì)與硅片隔離開。其特點(diǎn)是輸出靈敏度較高,價(jià)格實(shí)惠。
擴(kuò)散硅壓力變送器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制平臺(tái),它是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,組成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一種硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢驗(yàn)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。在使用過程中有哪些需要咱們注意的呢?
- 溫度補(bǔ)償,擴(kuò)散硅式壓力傳感器是半導(dǎo)體,半導(dǎo)體具有很強(qiáng)的溫度特性,沒有溫度補(bǔ)償,測量誤差可能會(huì)比較大。
- 擴(kuò)散硅式壓力傳感器傳感膜片只有幾十絲米厚,千萬不能觸碰。
- 供電電壓要穩(wěn)定,傳感器里面實(shí)際就是一個(gè)電橋,供電電壓波動(dòng)會(huì)引起橋路輸出變化,影響測量精度。
- 要在額定電壓內(nèi)應(yīng)用,過壓會(huì)導(dǎo)致傳感器損壞。
- 輸出端不要短路。
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