壓力變送器是由測量膜片與兩側絕緣片上的電極各組成一個電容器。當兩側壓力不一致時,致使測量膜片產生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側電容量就不等,通過振蕩和解調環節
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。壓力變送器的發展大體經歷了四個階段:(1)早期壓力變送器采用大位移式工作原理,如水銀浮子式差壓計及膜盒式差壓變送器,這些變送器精度低且笨重。(2)20世紀50年代有了精度稍高的力平衡式差壓變送器,但反饋力小,結構復雜,可靠性、穩定性和抗振性均較差。(3)20世紀70年代中期,隨著新工藝、新材料、新技術的出現,尤其是電子技術的迅猛發展,出現體積小巧,結構簡單的位移式變送器。
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