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微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。而在進行微量氧剖析時，由于空氣中氧含量高達21%，故而假如處理不妥極易形成對樣品的污染和攪擾，出現剖析成果數據不正常。以下是測驗過程中需要留意的各個方面。
1.泄漏
在初次啟用前有必要嚴厲檢漏。儀器只要在緊密不漏的前提下，才干取得精確數據成果。任何銜接點，焊點，閥門等處的不緊密，將會導致空氣中的氧反滲進入管道及儀器內部，然后得出含氧量偏高的成果。
2.污染
在重新運用儀器時，首要須留意在銜接取樣管路時是否漏入空氣。而且有必要仔細將漏入空氣吹除潔凈，盡量不使很多氧氣通過傳感器以延長傳感器壽命。在管道體系凈化過程中，為縮短凈化時刻，需要有必定的方法，一般運用高壓放氣及小流量吹除替換進行可迅速凈化管道。
3.氣路體系的簡化及潔凈
微量剖析要求有必要有用掃除氣路上的各種管件，閥門，表頭等中的死角對樣氣形成的污染。因此，應盡或許簡化氣路體系，選用死角小的銜接件等。而且，避免運用水封，油封及臘封等設備，避免溶解氧逸出形成污染，更需避免在樣氣引出至儀器進口的管線上添加易形成污染的凈化設備等。只要這樣才干保證體系潔凈，所得數據精確。
4.背景氣的攪擾
如燃料電池式剖析儀，不同的主背景氣（與背景氣的摩爾質量有關），會影響剖析成果。而且少量的氫氣也會對剖析成果發生較大的影響。
5.管道原料的挑選
管道原料及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的改變。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為銜接管路。一般選用銅管或不銹鋼管，對超微量剖析(指<0．1×10-4％)則有必要用拋光過的不銹鋼管。
6.攪擾雜質的影響
攪擾雜質主要指除背景氣和待測組分外存在的少量不知道雜質，如燃料電池式微氧儀對酸性、氧化性氣體靈敏，假如氣體中含有酸性氣體成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，則燃料池傳感器易中毒失效。
儀器適用于如下領域：
1.空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自動分析。
2.電子行業保護性氣體中氧含量分析。
3.磁性材料等高溫燒結爐的保護性氣體中氧含量分析。
4.玻璃、建材行業中氧含量分析及各種行業中氧含量分析。
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