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探針式臺階儀的功能及應用

來源:優尼康科技有限公司   2020年05月09日 14:49  

探針式臺階儀的功能及應用

探針式輪廓儀(臺階儀)主要用于材料的結構及表面解析,在微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、科學研究和材料科學領域大顯身手。

同時按照應用的領域不同,要求不同,臺階儀的型號也多種多樣,下面以我們優尼康提供的一款型號為P-17的臺階儀為例,簡單介紹下這款儀器的功能以及應用,以供大家參考了解臺階儀可以做什么,有哪些功能,該型號為常用款,如有更高需求也可以咨詢我們,會為大家更合適的機臺。

主要功能有:


·臺階高度:幾納米至1000μm
·微力恒力控制:0.03至50mg
·樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
·視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機
·圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·軟件:簡單易用的軟件界面
·生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

 

主要應用:

·臺階高度:2D和3D臺階高度

·紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

·形狀:2D和3D翹曲和形狀

·應力:2D和3D薄膜應力

·缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌

 

工業應用


·大學、研究實驗室和研究所
·半導體和化合物半導體
·LED:發光二極管
·太陽能
·MEMS:微機電系統
·數據存儲
·汽車
·醫療設備
·還有更多,請與我們聯系以滿足您的要求

 

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