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優(yōu)尼康微課堂:臺階儀相關(guān)知識科普

來源:優(yōu)尼康科技有限公司   2020年04月27日 15:57  

臺階儀相關(guān)知識科普

優(yōu)尼康微課堂:什么是臺階儀?

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器,也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好,被廣泛應(yīng)用在各行各業(yè)。

 

測量原理:

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動。觸針的運(yùn)動情況就反映了表面輪廓的情況。

 

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個(gè)方面:

測試重復(fù)性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。

 

在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺階儀為例,簡單介紹下,

型號:P-17

支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。

P-17是第八代臺式探針輪廓儀,是40多年的表面量測經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備的測量穩(wěn)定性。 通過式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動測量。

 

 

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