臺階儀相關(guān)知識科普

優(yōu)尼康微課堂：什么是臺階儀？

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復(fù)性好,被廣泛應(yīng)用在各行各業(yè)。

測量原理：

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個方面：

測試重復(fù)性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實驗數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實驗操作的效率。

在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺階儀為例，簡單介紹下，

型號：P-17

支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。

P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備的測量穩(wěn)定性。 通過式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能，程序設(shè)置簡便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量。