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ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質譜儀，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選和分析器，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。
ICP-MS存在質譜干擾和非質譜干擾。
質譜干擾包括同質異位素干擾、氧化物干擾、氫化物干擾、雙電荷離子干擾、多原子離子干擾等。消除或減小質譜干擾的方法有：選擇測定質量數、加干擾校正方程、基體分離、冷電等離子體技術、等離子體屏蔽技術、碰撞/反應池技術等；采用高分辨率質譜儀也能有效降低質譜干擾。
非質譜干擾主要是基體效應，分為物理效應和質量歧視效應（包括空間電荷效應和離子傳輸效率）。消除非質譜干擾的方法有：稀釋法、基體匹配法、標準加入法、內標法、同位素稀釋法、分離基體等。
PlasmaQuant MS ICP-MS 電感耦合等離子體質譜儀具有：獲得穩定強勁的等離子體所消耗氬氣量僅為常規儀器的一半；集成化的碰撞反應池系統，可高效、安全、快速、方便地消除干擾：3D聚焦離子反射鏡獲得的靈敏度；真正3MHz四極桿提供更好的質量分離效果；11個數量及的線性動態范圍等特點。這些技術的采用讓PlasmaQuant MS 電感耦合等離子體質譜儀在靈敏度、線性范圍、檢出限、穩定性等方面更上一個新臺階。其還可配備潔凈室組件、樣品導入系統、自動進樣器等配件，可靈活、快速實現普通靈敏度模式和高靈敏度模式之間的切換，滿足日常分析和研究級的各種應用。
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