測量顯微鏡是光學(xué)計量儀器之一種，是指配有瞄準顯微鏡和坐標工作臺的用于二維坐標尺寸測量的光學(xué)計量儀器。測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試，是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。測量顯微鏡的功能主要有以下幾點：
1、直角坐標中測定長度。
2、旋轉(zhuǎn)度盤測定角度。
3、用作觀察顯微鏡。
4、利用測量顯微鏡微動載物臺的移動，配全目鏡的十字座標線，作長度量測。
5、利用旋轉(zhuǎn)載物臺與目鏡下端之游標微分角度盤，配全合目鏡之址字座標線，作角度量測，令待測角一端對準十字線與之重合，然再讓另一端也重合。
6、利用標準檢測螺紋的節(jié)距、節(jié)徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。
7、檢驗金相表面的晶粒狀況。
8、檢驗工件加工表面的情況。
9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標準片相符。

測量顯微鏡的注意事項
1、測量顯微鏡的使用、維護是技術(shù)性較強的工作，對操作人員應(yīng)進行專業(yè)技能培訓(xùn)，掌握必要的操作技能和建立必要的工作檢查制度。
2、對測量顯微鏡要注意正確合理安排使用。儀器的存放地點應(yīng)避免灰塵、潮濕、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環(huán)境。
3、測量顯微鏡的光學(xué)部件有：目鏡、物鏡、玻璃工作臺等，光學(xué)零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒精，輕輕揩拭，切勿將鏡片擦毛。
4、測量顯微鏡維護、保養(yǎng)、調(diào)試，未經(jīng)技術(shù)培訓(xùn)不具備專業(yè)技能的人員不要隨意拆卸調(diào)試和清洗加油。
5、電源系統(tǒng)出現(xiàn)故障，需先切斷電源，再進行檢查。透射照明燈泡需要更換燈泡，拆除底蓋，進行檢查更換。