原裝BROOKS質量流量控制器SLA5851SD1AB1C2A1可操控同一過程中的十四種不同壓力或流速。另一方面，還能夠同時確保輸出效果嚴格相同并具有高精度和可重復性。產品設計采用*可配置多氣體/多量程功能，相較于競爭產品擁有更好的零點漂移參數并且經確證能夠更持久地保持出廠校準狀態和精度。

特點：

• 長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 0.2%
• 高精度
• 流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm
• 高耐壓等級 - 高達 1500 psi/100 bar（可選：4500 psi/310 bar）
• 可編程多氣體/多量程功能
• 可單獨輕松訪問的診斷/維護端口
• 包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485加模擬接口在內的各種通信選擇
• 采用模塊化設計，無論在工廠或是現場使用均非常易于維護

原裝BROOKS質量流量控制器SLA5851SD1AB1C2A1基本原理：

  通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

應用：

• 化學品和石化催化劑研究和試驗過程
• 實驗室和分析系統
• 燃料電池技術
• 生命科學實驗室

原裝BROOKS質量流量控制器SLA5851SD1AB1C2A1技術規格參數：

流量范圍-滿量程容量：.003 - 2500 slpm

精度：

0.9% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS)

1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS

重復性：0.20% SP

大壓力：

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

大溫度：65℃

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原裝BROOKS質量流量控制器型號：

Schmalz SGM 70 G1/4-1G 10.01.17.00165
Hydac 1253050 0110-D-010-BH4HC
Piab #9902635 VGS5010. AM.00. BA 
Pumpen Peters ZP-24-klein-5bar
GEA749862-0004(40mm) Eex2/22
GEA939176-0001Eex2/22
Bourdon Haenni RP2-NL-353
Global Laser Acculase PWM 

BE-3976A
0522111RI58-0/500EK42KH
0525408 RI58-0/2048EK.42RH HDA 4745-A400-000
Statox 501 Sensor Combustible ARE
Meister DKWA-1/10 G3/4"VA Wechsler

Bourdon Haenni RP2-NL-353
Global Laser Acculase PWM 
Huba 528.9321031811.
Sommer GP30-B Oleodinamica REVA#19.102.487
MEN Mikro 04m047-00
Pister BKH-G1/2-13-11251-ES
 NSF #3103525