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真空燒結爐主要用于燒結活性和不溶性金屬、硬質合金、磁性材料和不銹鋼。實際上是低壓（減壓）燒結。真空度越高，與中性大氣的距離越近，材料發生的化學反應就越少。
真空燒結爐的主要優點是：
（1）真空有利于吸附氣體的去除，對燒結后期的收縮有明顯的促進作用。
（2）真空有利于去除硅、鋁、鎂、鈣及其氧化物等雜質，起到凈化材料的作用。
（3）真空可以提高液相燒結的潤濕性，有利于燒結過程中的收縮，改善合金的組織。
（4）真空是種理想的惰性氣體。當其它次或惰性氣體不合適，或材料容易脫碳和滲碳時，可采用真空燒結爐。
（5）減少大氣中有害成分（水、氧、氮等）對產品的污染。例如，將電解氫中的含水量降低到-40℃是困難的，而在真空燒結中，只要在幾百帕的范圍內，真空含量就相當于-40℃的露點。
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