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德國CMC微量水分析儀采用電解法露點(diǎn)儀原理：氣樣流經(jīng)一個(gè)特殊結(jié)構(gòu)的電解池, 其水分被池內(nèi)作為吸濕劑的五氧化二磷膜層吸收, 并被電解為氫氣和氧氣排出, 而五氧化二磷得以再生。反應(yīng)過程可表示為：
P2O5+H2O=2HPO3（1）
4HPO3=2H2↑+O2↑+2P2O5（2）
合并（1）、（2）得：
2H2O=2H2↑+O2↑
當(dāng)吸濕和電解達(dá)成平衡后, 進(jìn)入電解池的水分全部被五氧化二磷膜層吸收, 并全部被電解，同時(shí)五氧化二磷被再生可反復(fù)測量氣體中的水分含量。因此可通過測量電解電流來測量氣樣中的含水量。五氧化二磷電解法露點(diǎn)儀具有結(jié)構(gòu)簡單、使用壽命長、測量精度較高、測量范圍廣的特點(diǎn)。特別是腐蝕性氣體的測量，對傳感器沒有影響，在氯堿行業(yè)應(yīng)用非常廣泛。
該型露點(diǎn)儀的探頭是由一個(gè)玻璃材質(zhì)的圓柱和兩根并行的鉑絲電極組成，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸（H3PO4）。氣樣經(jīng)過預(yù)處理后通入探頭進(jìn)行分析，測量數(shù)據(jù)通過顯示器直接讀取。水分含量測量結(jié)果通常以“℃”（攝氏的露點(diǎn)）和“ppm”（百萬分之一體積的水）來表示，我們所使用的露點(diǎn)儀可同時(shí)顯示這兩種露點(diǎn)值。
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