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X射線熒光光譜儀具有重現性好，測量速度快，靈敏度高的特點。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。無標半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結果，結果準確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。
X射線熒光光譜儀的構造：
主要由以下幾部分組成：
（1）激發系統：主要部件為X射線管，可以發出原級X射線（一次X射線），用于照射樣品激發熒光X射線；
（2）分光系統：對來自樣品待測元素發出的特征熒光X射線進行分辨（主要為分光晶體）；
（3）探測系統：對樣品待測元素的特征熒光X射線進行強度探測；
（4）儀器控制和數據處理系統：處理探測器信號，給出分析結果。
X射線熒光光譜儀的測試步驟：
（1）選擇分析方法與制樣方法。分析方法一般有基本參數法、半基本參數法、經驗系數法等，制樣方法一般有拋光法、壓片法、濾紙片法和熔片法，常用粉末壓片法制樣，采用基本參數法測試。
（2）將制備好的樣片裝進樣品杯，放入樣品交換器中，自動進樣至樣品室，X射線管發出原級X射線照射樣品，激發出待測元素的熒光X射線。
（3）樣品輻射出的熒光X射線通過分光晶體，將X射線熒光光譜色散成孤立的單色分析線，由探測器測量各譜線的強度，根據選用的分析方法換算成元素濃度，得到樣品中待測元素含量。
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