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島津等離子體質譜儀是以等離子體為離子源的一種質譜型元素分析方法。ICP-MS作為痕量元素分析的有效手段，主要用于多種金屬元素的同時測定，并可與其他技術聯用，進行樣品中元素的微區分布和元素形態分析。
島津等離子體質譜儀的性能特點:
1.波長范圍：165－770nm，無需配備冷卻循環水機，節約成本，節省空間。
2.開機即可測試，節約成本，節約時間。密閉充氬循環光路系統，檢測190nm以下譜線，無需氣體吹掃。檢測器無需超低溫冷卻，無需氬氣吹掃保護。
3.分析速度較快，可在30秒內完成73個元素的全譜定量測試，分析速度:≥60個樣品/小時。
4.自動化程度高，所有氣體流量采用質量流量計計算機控制，矩管位置3維步進馬達計算機控制。
島津等離子體質譜儀的組成及工作條件：
▲由ICP焰炬，接口裝置和質譜儀三部分組成；若使其具有好的工作狀態，必須設置各部分的工作條件。
▲工作條件：主要包括ICP功率，載氣、輔助氣和冷卻氣流量。樣品提升量等。ICP功率一般為1KW左右，冷卻氣流量為15L/min，輔助氣流量和載氣流量約為1L/min，調節載氣流量會影響測量靈敏度。樣品提升量為1ml/min。
▲接口裝置工作條件：ICP產生的離子通過接口裝置進入質譜儀，接口裝置的主要參數是采樣深度，也即采樣錐孔與焰炬的距離，要調整兩個錐孔的距離和對中，同時要調整透鏡電壓，使離子有很好的聚焦。
▲質譜儀工作條件：主要是設置掃描的范圍。為了減少空氣中成分的干擾，一般要避免采集N2、O2、Ar等離子。進行定量分析時，質譜掃描要挑選沒有其它元素及氧化物干擾的質量，同時還要有合適的倍增器電壓。
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